450度高溫?zé)o氧烤箱采用智能烘箱過(guò)程管理系統(tǒng),由上海和呈儀器制造有限公司自主研發(fā),基于TCP/IP協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過(guò)程管理??刂品奖?、操作簡(jiǎn)單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)效力!
450度高溫?zé)o氧烤箱主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。
450度高溫?zé)o氧烤箱主要技術(shù)指標(biāo)
1、潔凈等級(jí):Class100級(jí)
2、含氧量:≦50PPM
3、使用溫度:室溫+20~400℃,溫度可做:450℃;
4、腔體數(shù)量:2個(gè),上下布置;獨(dú)立控溫
5、爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶
6、空爐升溫時(shí)間:1.5h;
7.空爐降溫時(shí)間:375℃--80℃;降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí) (采用水冷及風(fēng)冷);
8.智能控制系統(tǒng):日本歐姆龍PCL+PC工控電腦
智能控制系統(tǒng)特點(diǎn):
可接入MES和ERP通訊
權(quán)限分級(jí)管理,給每個(gè)管理者、工程師、操作員獨(dú)立用戶(hù)名和密碼
智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報(bào)警,事件等等數(shù)據(jù)查詢(xún),記憶操作步驟,操作便捷;PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,短數(shù)據(jù)記錄間隔5S;
工藝線標(biāo)準(zhǔn)
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃
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